一种半导体芯片生产制备系统的电浆模组

成果名称	一种半导体芯片生产制备系统的电浆模组
权属单位	山东职业学院
成果介绍	本成果公开了一种半导体芯片生产制备系统的电浆模组，包括半导体芯片生产制备装置由上至下设置有第一操作腔体、第二操作腔体、第三操作腔体；电浆模组部分设置在第二操作腔体内部，通过射频电源及机械传动机构实现移动，其结构由上至下依次设置有O型环、石英套筒的磁铁、具偏压格栅一、石英窗、厚圆柱形石英柱状桶环、具偏压格栅二、多孔金属阳极化圆盘且分别与机械传动机构连接；工作过程中，本成果电浆模组部分是本成果结构特征不可或缺的一个技术特征点，是对现有技术一次扩展性的技术创新，具有很好的推广和使用价值。
自评及转化进度	本发明所公开的半导体芯片生产制备系统电浆模组，通过巧妙的腔体布局与电浆模组设计，集成了射频电源驱动、机械传动精准控制及多层结构优化等关键技术，展现了在半导体制造领域的创新性探索。该模组在第二操作腔体内的灵活移动与精准定位，结合O型环密封、石英套筒与偏压格栅等组件的精密配合，为电浆处理过程提供了稳定且高效的环境。此设计不仅丰富了半导体芯片生产的技术手段，也为提升产品质量与生产效率开辟了新的路径。尽管其实际效果尚需实验验证，但本发明所展现的技术潜力与应用前景，值得学术界与产业界的广泛关注与期待。当前处于试生产、应用开发阶段。
专利名称及专利	CN202220198233.7
专利价格	面议
成果评价	该成果属于电子元器件与机电组件设备制造领域,集成射频驱动与机械传动，多层组件精密配合，实现对半导体芯片的高效处理，技术创新显著，有望推动半导体制造技术进步，具备广泛应用潜力。该成果根据产业应用重要难点，提出完整和成熟方案，能产生经济效益，有较大创新，建议进一步推广。
转化方式	科技成果转让、科技成果许可、合作实施转化、科技成果作价投资均可